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衡以值工于用衡工量值提高效率

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中科院

中科院微電子所在極紫外光刻基板缺陷補(bǔ)償方面取得進(jìn)展

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近日，中國(guó)科學(xué)院微電子研究所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心在極紫外光刻基板缺陷補(bǔ)償方面取得進(jìn)展。

光刻技術(shù) 紫外極紫外光刻光學(xué) 集成電路

09-16

我國(guó)科研人員在高手性度自旋傳輸?shù)墓庾悠骷芯恐腥〉眠M(jìn)展

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近期，中國(guó)科學(xué)院物理研究所/北京凝聚態(tài)物理國(guó)家研究中心光物理實(shí)驗(yàn)室L02組博士生肖珊、研究員許秀來(lái)和L03組研究員金奎娟與納米物理與器件實(shí)驗(yàn)室N09組研究員張建…

光子器件研究光學(xué)研究科研成果中科院

08-25

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